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小型等离子清洗机一般是指容积低5L以下清洗机也被称为小型等离子表面处理仪，射频电源功率在200瓦以下，根据不同清洗和处理要求，又以射频频率划分为40KHz,13.56MHz和2.54GHz三种。相比较而言，工作在40KHz射频频率时，其匹配简单，所提供的射频电源效率高，故常规的材料处理和清洗应用中较为普及。是一种全新高科技技术。利用等离子来达到常规清洗方法无法达到的效果，离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
小型等离子清洗机广泛用于：
等离子处理后粘合
等离子去胶
等离子蚀刻/活化、
等离子表面活化/清洗
等离子涂覆
等离子涂镀
增强邦定性
等离子灰化和表面改性等场合